Профилометр ПИК-30М интерференционный компьютерный

ПИК-30М предназначен для измерения относительных высот профиля поверхности (топограмм) полированных изделий, в том числе подложек сферических зеркал, диаметр которых не превышает 30 мм, высота не превышает 10 мм, а радиус кривизны лежит в диапазоне от 2 м до 7 м.

ПИК-30М позволяет работать с полированными изделиями без зеркального покрытия, коэффициент отражения которых не менее 4%.

ПИК-30М позволяет измерять участки крупногабаритных деталей до 150 мм.

Принцип действия прибора основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от плоского зеркала и поверхности измеряемого изделия. В основе прибора лежит оптическая схема интерферометра Тваймана-Грина.

Прибор ПИК-30М состоит из двух частей: интерферометра и блока управления и обработки информации.

В интерферометре световой поток от He-Ne лазера, пройдя через коллимирующее устройство, попадает на светоделительную призму, после которой направляется в предметное и опорное плечи интерферометра. В предметном плече располагается исследуемое изделие, закрепленное в специальной оправке, в опорном – плоское зеркало. Отразившись от предмета и плоского зеркала световые пучки сходятся на светоделительной призме. Интерференционное изображение строится объективом в плоскости регистратора – ПЗС камеры.

Компьютерная расшифровка интерферограмм производится по методу дискретного фазового сдвига, вносимого плоским зеркалом, сдвигаемым пьезоэлементом. В результате обработки интерферограмм восстанавливается двумерная карта высот профиля поверхности объекта (топограммы) относительно начальной точки, выбираемой оператором.

Программное обеспечение ПИК-30М для обработки полученных топограмм позволяет вычислять:

• Радиус кривизны сферических поверхностей;
• Среднее квадратическое отклонение и предельное отклонение измеренной топограммы от плоской и сферической поверхности;
• «Децентровку» сферической поверхности относительно геометрического центра подложки сферического зеркала в диапазоне от 0,1 мм до 5,0 мм.