Cтилусный профилометр JS10C
Ручной стилусный профилометр JS10C обеспечивает стабильное и надежное измерение повторяемости объектов, находящихся на поверхности образца. Измерения морфологии поверхности осуществляются с помощью алмазного зонда. Предназначен для решения задач разработки и совершенствования технологий, контроля качества и производства микроэлектроники.
Основные преимущества:
- стабильность процесса измерений;
- измерения с высокой точностью;
- цветная камера для получения изображения образца и наконечника, что позволяет наблюдать за областью образца без искажений и легко определять характерные особенности, а сканирование зонда можно наблюдать в режиме реального времени;
- простота в эксплуатации;
- компактная конструкция.
| Тип | Ручной |
|---|---|
| Диаметр образца (пластины), мм | 150 |
| Вертикальное разрешение, нм | 0,05 |
| Перемещение столика по X-Y, мм | 150 |
| Скорость сканирования, мкм/с | 5-1000 |
| Максимальная длина сканирования, мм | 55 |
| Макс. количество точек сбора данных на одно сканирование | 2000000 |
| Диапазон усилия зонда, мг | 0,5-50 |
| Максимальный перепад высоты измерения, мкм | 80 |
| Типы используемых зондов | Стандартный зонд Радиус кривизны острия ?2 мкм Угол сужения 60°, Субмикронный зонд Радиус кривизны острия ?1 мкм Угол сужения 60° |