Cтилусный профилометр JS10C

ID:
82120
Артикул:
Цена по-запросу
  • Описание
  • Характеристики
Ручной стилусный профилометр JS10C обеспечивает стабильное и надежное измерение повторяемости объектов, находящихся на поверхности образца. Измерения морфологии поверхности осуществляются с помощью алмазного зонда.  Предназначен для  решения задач разработки и совершенствования технологий, контроля качества и производства микроэлектроники.

Основные преимущества:

  • стабильность  процесса измерений;
  • измерения с высокой точностью;
  • цветная камера для  получения изображения образца и наконечника, что позволяет наблюдать за областью образца без искажений и легко определять характерные особенности, а сканирование зонда можно наблюдать в режиме реального времени;
  • простота в эксплуатации;
  • компактная конструкция.
Тип Ручной
Диаметр образца (пластины), мм 150
Вертикальное разрешение, нм 0,05
Перемещение столика по X-Y, мм 150
Скорость сканирования, мкм/с 5-1000
Максимальная длина сканирования, мм 55
Макс. количество точек сбора данных на одно сканирование 2000000
Диапазон усилия зонда, мг 0,5-50
Максимальный перепад высоты измерения, мкм 80
Типы используемых зондов Стандартный зонд Радиус кривизны острия ?2 мкм Угол сужения 60°, Субмикронный зонд Радиус кривизны острия ?1 мкм Угол сужения 60°