Автоматический стилусный профилометр JS2000C
Цена по-запросу
Автоматическая система JS2000C на базе стилусного профилометра обладает высокой точностью, высоким разрешением и рамой с гранитным основанием, обеспечивающей стабильные, надежные и воспроизводимые измерения. Система оснащается модулем загрузки пластин из SMIF контейнера с загрузчиком, позволяя осуществлять исследования тестовых и критических областей образцов в автоматическом режиме.
Автоматическая система JS2000C оснащена двумя цветными камерами для одновременного отображения образца и кончика стилуса, что облегчает быстрое и удобное обнаружение интересующих областей.
Основные преимущества:
- стабильность процесса измерений;
- полностью автоматическая система, обеспечивает высокую скорость работы;
- роботизированная система для автоматической загрузки/выгрузки кремниевых пластин;
- высокая точность и воспроизводимость измерений.
| Тип | Автоматический |
|---|---|
| Диаметр образца (пластины), мм | 8 дюймов ( совместим с размером 6 дюймов) |
| Вертикальное разрешение, нм | 0,05 |
| Скорость сканирования, мкм/с | 10 штук (измерение 5 положений с одной стороны) |
| Максимальная длина сканирования, мм | 55 |
| Диапазон усилия зонда, мг | 0,5-50 |
| Максимальный перепад высоты измерения, мкм | 160 |
| Типы используемых зондов | Стандартный зонд Радиус кривизны острия ?2 мкм Угол сужения 60°, Субмикронный зонд Радиус кривизны острия ?1 мкм Угол сужения 60° |
