МИА-1М микроскоп интерференционный автоматизированный (микропрофилометр)
МИА-1М предназначен для измерения профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне, а также распределения показателя преломления прозрачных объектов (при использовании специальной кюветы).
Микропрофилометр МИА-1М позволяет исследовать отражающие объекты, состоящие из различных по своим электрическим свойствам материалов (диэлектрик, проводник и пр.) и рассчитывать параметры шероховатости (Ra, Rz, Rmax и пр.).
МИА-1М может использоваться в биологии для исследования микробиологических объектов без окрашивания.
В составе МИА-1М имеются две видеокамеры для двух различных полей зрения. Для расширения диапазона измерения высот профиля поверхности используется метод регистрации на нескольких длинах волн.
ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ МИА-1М
в промышленности:
- бесконтактное измерение микропрофиля отражающих поверхностей
- измерение высотных и шаговых параметров шероховатости
- измерение толщины тонких пленок
- динамические измерения
в биологии и медицине:
- возможность исследования живых неокрашенных клеток
- морфометрия клеток
- измерение сухого веса клеток с точностью 10-12 г
- измерение показателя двулучепреломления
- оценка состояния популяции клеток
- динамическая фазовая микроскопия
Принцип действия МИА-1М основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС камеры и передаются в персональный компьютер, где производится их обработка в автоматическом режиме. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МИА-1М:
|
