Сканирующий микроскоп Quanta 650

ID:

15509

Артикул:

Цена по-запросу

Описание
Характеристики

Микроскопы Quanta 650 обеспечивают полное представление о любом образце: изображения в композиционном и топографическом режимах можно легко дополнить определением свойств материала и его элементного состава, установив вспомогательное оборудование. Доступны три режима работы: высокий вакуум, низкий вакуум и режим естественной среды. Большая и просторная камера позволяет исследовать габаритные образцы. Перемещение стола достигает 150 мм по осям. Разрешающая способность достигает 3 нм.

Отвечая на вызовы научной работы наших дней, микроскопы серии Quanta не ограничивают исследователя, позволяя получать высококачественные изображения и достоверные результаты анализа при работе с самыми сложными материалами.

Отличительные особенности:

Высокопроизводительная термоэмиссионная колонна SEM с двуханодной геометрией электронной пушки
Неподвижная апертура объектива для простоты эксплуатации
Линза объектива 45° с дифференциальной откачкой через линзу и подогреваемые апертуры объектива
Максимальная ширина поля зрения: 6,5 мм при аналитическом рабочем расстоянии (10 мм); 11,3 мм при рабочем расстоянии 25 мм
Нанохарактеризация
Металлы и сплавы, окисление/коррозия, трещины, сварные швы, шлифы, магнитные и сверхпроводящие материалы
Керамики, композитные материалы, пластмассы
Плёнки/покрытия
Петрографические шлифы, минералы
Мягкие материалы: полимеры, фармацевтические препараты, фильтры, гели, ткани, растительные материалы
Частицы, пористые материалы, волокна
Нанопроцессы in situ
Гидратация/дегидратация
Анализ поведения материала при увлажнении/контактного угла
Окисление/коррозия
Предел прочности при растяжении (при нагреве или охлаждении)
Кристаллизация/фазовый переход
Нанопрототипирование
Электронно-лучевая литография (EBL)
Осаждение, индуцированное электронным пучком (EBID)

Характеристики электронной пушки	• Высокий вакуум - 3,0 нм при 30 кВ (SE) - 4,0 нм при 30 кВ (BSE)* - 8,0 нм при 3 кВ (SE) • Высокий вакуум в режиме торможения пучка - 7,0 нм при 3 кВ (режим BD* + vCD) • Низкий вакуум - 3,0 нм при 30 кВ (SE) - 4,0 нм при 30 кВ (BSE) - 10,0 нм при 3 кВ (SE) • Режим естественной среды (ESEM) - 3,0 нм при 30 кВ (SE) • Ускоряющее напряжение: от 200 В до 30 кВ • Ток зонда: до 2 мкА с плавной регулировкой • Увеличение: 13–1 000 000 x
Предметный столик	Вцентрический гониометрический высокоточный моторизованный по 5 осям предметный столик Перемещение в плоскости XY: 150 x 150 мм Моторизованное перемещение по оси Z: 65 мм Воспроизводимость результатов: 2 мкм Зазор по оси Z: 93,5 мм Поворот: n x 360° Наклон: -15° / +70° Вцентрический наклон на высоте 29,3 мм для любых рабочих расстояний
Рабочая камера	• Ширина: 379 мм • Аналитическое рабочее расстояние 10 мм • Количество портов: 8 • Угол выхода для детектора EDS: 35°
Детекторы	• Детектор вторичных электронов (SED) Верхарта — Торнли • Низковакуумный детектор вторичных электронов большого поля (LFD) • Газовый детектор вторичных электронов (GSED) (используется в режиме ESEM) • Высокочувствительный низковольтный детектор обратно отраженных электронов SS-BSEDИК-камера для контроля положения образца в камере • Газовый детектор обратно отраженных электронов для обнаружения при высоком давлении в режиме ESEM • 4-квадрантный твердотельный детектор обратно отраженных электронов* • Cсцинтиллятор BSED/CLD* • vCD (низковольтный высококонтрастный детектор)* • Измерение тока электронного пучка* • Газовый аналитический BSED (GAD)* • Детектор прошедших электронов (STEM)* • Nav-CamTM — цветная оптическая камера для навигации по образцу*
Вакуумная система	• 1 x 250 л/с TMP (турбомолекулярный насос), 1 x PVP (форвакуумный насос) • Запатентованный способ дифференциальной откачки через линзу • Длина пути пучка в газе: 10 мм или 2 мм • Возможность установки безмасляного винтового/сухого PVP по дополнительному заказу • Вакуумная камера (высокий) • Вакуумная камера (низкий) • Режим ESEM • Время откачки: ≤150 с до высокого вакуума и ≤270 с до ESEM (стандартные процедуры испытаний FEI
Дополнительные аналитические возможности	• EDS • WDS • EBSD • Криостолик • Катодолюминесценция • Прибор для измерения малых токов образца • Наноманипуляторы • Системы для литографии • CAD-навигация • Электрическое зондирование
Управление системой	• 32-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows®XP, клавиатура, оптическая мышь • Один 19-дюймовый ЖК-монитор, SVGA 1280 x 1024 • MagicSwitchTM (переключатель, контролируемый с ПК)* • Джойстик* • Ручной пользовательский интерфейс*
Получение изображений	• Разрешение до 4096 x 3536 пикселей (≈14Mpix) • Тип файла: TIFF (8- или 16-битный), BMP, JPEG • Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах • 4-квадранта, прямая трансляция • Прямое или статическое смешение сигналов в цвете или градациях серого • усреднение или интегрирование 256 кадров • Запись цифрового видеоизображения (.avi) • Гистограмма изображения и измерительное программное обеспечение
Доступные программные функции	• Технология сканирования SmartSCAN • Автоматическая сшивка изображений • Программное терморегулирование • Интервальное получение изображений в 1–4 квадрантах • Функция сохранения нескольких изображений • Программная утилита FEI Movie Creator (создание специального .avi-файла на основе автоматически полученной серии TIFF-изображений) • Функциональные возможности большого окна изображения (отображает изображение на отдельном мониторе, обеспечивает возможность отображения двух полноэкранных изображений, полученных от различных детекторов)
Системные опции	• Торможение пучка • Ручной пользовательский интерфейс • Вспомогательный ПК (включая второй 19-дюймовый монитор) • Блок переключателей с программным управлением • Охлаждаемый предметный столик с элементом Пельтье с программным управлением • Система WetSTEMTM с программным управлением • Нагреваемый до 1000 °С предметный столик с программным управлением • Нагреваемый до 1500 °С предметный столик с программным управлением • Система криогенной очистки Cryocleaner • Запасная ёмкость для Cryocleaner • Джойстик • Измеритель тока образца • Программное обеспечение для дистанционного управления • Комплект держателей образцов • Акустический чехол для вакуумного насоса • 7- или 52-контактный электрический вывод • Электростатический бланкер пучка • Комплект оснащения системой WDS • Монтажный комплект для спирального форвакуумного насоса • Вспомогательный газовый набор (для газов вместо воды)
Требования по установке	• Электропитание: напряжение 230 В (+6%, –10%), частота 50 или 60 Гц (+/–1 %) • Потребляемая мощность: • Сопротивление заземления: • Условия эксплуатации: температура (+15…+25) °C, относительная влажность не более 80% (без конденсата), уровень паразитных ЭМП с переменным напряжением • Ширина дверного проёма: 90 см • Вес микроскопа с колонной: 450 кг • Рекомендуется сухой азот: система (от 0,7 до 0,8 бар, макс 10 л/мин во время вентилирования) • Уровень шума: • Вибрация пола (требуется обследование места установки, поскольку должен учитываться спектр частот вибрации пола) • Виброизоляционный стол поставляется по дополнительному заказу