Сканирующий микроскоп Verios

ID:

15508

Артикул:

Цена по-запросу

Описание
Характеристики

Второе поколение XHR SEM (сканирующие электронные микроскопы сверхвысокого разрешения) — флагманской линейки компании FEI. Этот прибор обеспечивает субнанометровое разрешение в диапазоне ускоряющих напряжений 1–30 кВ и высочайшую контрастность изображения. Его непревзойденная работа при низких ускоряющих напряжениях обеспечивает получение точных данных о структуре поверхности, недоступных при использовании других методов. Максимальная разрешающая способность достигает 0.6 нм!

Микроскоп Verios абсолютно незаменим при производстве полупроводников и устройств хранения данных. Существенно расширяя возможности стандартных SEM, этот прибор позволяет работать с нано узлами, что превращает его в комплексное решение для теоретических исследований, управления технологическими процессами, создания материалов, задач фрактографии, анализа дефектов.

Отличительные особенности:

FESEM-колонна Elstar с иммерсионной линзой сверхвысокого разрешения
Электронная пушка Elstar, в том числе:
- Термополевой эмиттер Шоттки
- Возможность замены без прерывания работы
- Технология UC (монохроматор)
Двойная объективная линза с углом 60° с защитой полюсного наконечника
Нагреваемые апертуры объектива
Электростатическое сканирование
Технология линзы с постоянной мощностью ConstantPower™
Торможение пучка с подачей отрицательного смещения на столик от –50 В до –4 кВ
Интегрированная функция быстрого гашения пучка*

Характеристики электронной пушки	• Разрешение при оптимальном рабочем расстоянии - 0,6 нм при 30 кВ (STEM) - 0,6 нм при 15 кВ - 0,6 нм при 2 кВ - 0,7 нм при 1 кВ - 1,0 нм при 500 В (ICD ) - 1,2 нм при 200 В (ICD *) Максимальная ширина горизонтального поля зрения • Электронный пучок: 2,0 мм при рабочем расстоянии 4 мм Диапазон контактной энергии От 20 В до 30 кВ Ток зонда • Электронный пучок: от 0,8 пА до 100 нA
Предметный столик	5-осевой предметный столик сверхвысокой точности с пьезоэлектрическим приводом • перемещение по осям X, Y = 100 мм • перемещение по оси Z ≥ 20 мм • T (наклон) = от –10° до +60° • R (вращение) = n x 360° ход • Воспроизводимость по осям X, Y 0,5 мкм • Точность X, Y 1,5 мкм, допустимый интервал 85 % • Вцентрический предметный столик с механическим наклоном со смещением изображения менее 5 мкм при наклоне 0–52° • Вращение и наклон под управлением ПК
Рабочая камера	Точка Вцентрика электронного пучка и EDS на рабочем расстоянии 4 мм, 21 порт • Максимальный размер образца: диаметр 100 мм с возможностью полного вращения • Максимальная толщина образца (через загрузочный шлюз): 19 мм, включая держатель • Максимальная толщина образца (через дверь камеры): 27,8 мм, включая держатель • Вес: 200 г (включая держатель
Детекторы	• Внутрилинзовый детектор вторичных электронов Elstar (TLD-SE) • Внутрилинзовый детектор обратно рассеянных электронов Elstar (TLD-ВSE) • Внутриколонный детектор вторичных электронов Elstar (TLD-SE) • Внутриколонный детектор обратно рассеянных электронов Elstar (MD) • Детектор вторичных электронов Верхарта — Торнли (ETD) • ИК-камера для визуального осмотра образца/колонны • Встроенная навигационная камера Nav-Cam+™ * • Выдвижной низковольтный высококонтрастный твердотельный детектор обратно отражённых электронов (DBS) ** • Выдвижной детектор прошедших электронов с сегментами BF/DF/HAADF (STEM) * • Интегрированное измерение тока пучка
Вакуумная система	• 1 x 210 л/с турбомолекулярный насос • 1 x PVP (предвакуумный насос) • 2 x IGP (геттерно-ионных насоса) • Вакуум в камере: 2,6 * 10-6 мбар (через 24 часа откачки)
Дополнительные аналитические возможности	• Анализ: EDS* • Загрузочный шлюз** • Встроенная система плазменной очистки • Система криогенной очистки CryoCleaner • Электронно-лучевая литография (модули производства компаний Raith, Nabity или др.)* • Звукоизолирующий кожух FEI* • Cryo SEM: перемещение и подготовка образцов, предметный столик для низкотемпературных применений* • Газоинжекционная система (GIS) • Сертифицированный по NIST образец для калибровки увеличения*
Управление системой	• 32-битный графический пользовательский интерфейс на базе Windows® ХР, клавиатура, оптическая мышь • Два 24-дюймовых ЖК-монитора, WUXGA 1920 x 1200 пикселей • Для управления микроскопом и вспомогательным ПК достаточно одной клавиатуры и мыши • Джойстик • Многофункциональная панель управления • Дистанционное управление*
Получение изображений	• Время получения изображений 0,025–25 000 мкс/пиксель • До 6144 x 4096 пикселей • Тип файла: TIFF (8, 16, 24-битный), BMP или JPEG • Однокадровое изображение или изображение в четырёх квадрантах • SmartSCAN™ (256 кадров усреднения или накопления, линейного интегрирования и усреднения, чересстрочной развёртки) и DCFI (компенсация дрифта
Доступные программные функции	• Программное обеспечение доступа к веб-архиву данных* • Программное обеспечение визуального анализа* • iFAST для повышения уровня автоматизации* • MAPS™ для автоматического получения больших изображений и совместной работы* • Автономное метрологическое программное обеспечение IC3D* • Cell NavigatorTM для навигации по битовым элементам*
Системные опции	• Стандартно поставляется держатель для различных задач, уникальный тем, что устанавливается непосредственно на столик, и на него можно установить до 18 стандартных столиков образцов (диам. 12 мм), 3 скошенных стойки, образцы поперечных сечений и 2 наклонных многостоечных держателей* (38° и 90°) • Каждый из наклонных многостоечных держателей может использоваться с 6 S/TEM сетками • Держатель печатных плат и другие держатели по заказу*
Требования по установке	• Электропитание: напряжение 100–240 В~, частота 50 или 60 Гц ± 1 % • Потребляемая мощность: 3,0 кВтА в базовой комплектации • Сопротивление заземления: 0,1 Ом • Окружающая среда: - температура 20 ± 3 °C - относительная влажность менее 80 %, 20 °С - магнитные поля рассеяния по переменному току: требуется обследование объекта - уровень шума: требуется обследование объекта, поскольку должен учитываться акустический спектр - вибрации пола: требуется обследование объекта, поскольку должен учитываться спектр частот вибрации пола • Рекомендуемая ширина x высота дверного проёма: 1,2 м x 2,0 м (минимум 0,9 м x 2,0 м) • Вес: консоль колонны 850 кг • Сухой азот • Сжатый воздух: 4–6 бар — чистый, сухой, безмасляный • Охладитель системы • Виброизоляционный стол*