Прямой инспекционный микроскоп MX63
MX63/MX63L – серия прямых инспекционных микроскопов, разработанных специально для исследования подложек и плат диаметром до 12 дюймов. Учитывая большой опыт в данной области, Olympus разработал решения, позволяющие проводить контроль электронных компонентов легче, быстрее и эффективнее. В основном используется как микроскоп для полупроводников. Также данная модель будет эффективна для изучения любых невысоких габаритных образцов, например, в криминалистике.
Важной отличительной особенностью микроскопов MX63 является размер рабочей зоны. Для микроскопа MX63 величина хода составляет 210 x 210 мм, для микроскопа MX63L - 356 x 305 мм. Для исследования образцов небольшого размера (дисплеи, микросхемы и пр.) достаточно микроскопа BX53M с ходом стола 150 х 100 мм.
Отличительные особенности:
- Общий диапазон увеличений от 12,5х до 1500х
- Суперширокопольная оптика с полем зрения 26,5 мм
- Cтолик 12”х14” с удобным вакуумным держателем для захвата и переноса образцов
- Интеграция с системами автоматической загрузки и контроля плат и подложек
- Функция направленного темного поля DDF
- Функция смешанного режима контрастирования MIX
- Проекционная сетка для легкой фокусировки на слабоконтрастных образцах
|
Применение |
Микроэлектроника |
|
Тип микроскопа |
Прямой |
|
Диапазон увеличений |
12,5-1500х |
|
Методы контрастирования |
Светлое поле, темное поле, направленное темное поле DDF, MIX освещение, простая поляризация, ДИК, флуоресценция, ИК-спектр |
|
Оптическая система |
UIS2 |
|
Осветители |
100Вт галогеновая лампа (стандарт), 100Вт Hg, 75Вт Xe, 50Вт галоидная лампы (опции) |
|
Револьвер объективов |
Механический 6-позиционный для светлого поля/ДИК, |
|
Предметные столики |
коаксиальное управление, ход 8x8”, ход 6x6”, ход 14x12 |
|
Возможность моторизации |
да |
Внимание! Технические характеристики могут быть изменены производителем без предварительного уведомления.
