Полуавтоматические стилусные профилометры JS100С /JS200С /JS300С
Полуавтоматические стилусные профилометры JS100С /JS200С /JS300С имеют высокую точность и разрешение, что обеспечивает проведение стабильных и надежных измерений. Профилометры оснащены двумя цветными камерами для одновременного отображения образца и кончика стилуса, что облегчает быстрое и удобное обнаружение интересующих областей.
Основные преимущества:
- стабильность процесса измерений;
- Конструктивное решение с двумя камерами гарантирует четкое и неискажённое изображение образца, а также обеспечивает контроль над состоянием зонда в режиме реального времени в ходе сканирования.
| Тип | Полуавтоматический |
|---|---|
| Диаметр образца (пластины), мм | 150, 200, 300 |
| Вертикальное разрешение, нм | 0,05 |
| Перемещение столика по X-Y, мм | 150/200/300 |
| Скорость сканирования, мкм/с | 5-1000 |
| Максимальная длина сканирования, мм | 55 |
| Макс. количество точек сбора данных на одно сканирование | 2000000 |
| Диапазон усилия зонда, мг | 0,5-50 |
| Максимальный перепад высоты измерения, мкм | 160 |
| Макс. вес образца, кг | Любой |
| Типы используемых зондов | Стандартный зонд Радиус кривизны острия ?2 мкм Угол сужения 60°, Субмикронный зонд Радиус кривизны острия ?1 мкм Угол сужения 60° |