Микроскоп интерференционный автоматизированный МИА-1М (микропрофилометр)

ID:
23545
Артикул:
2124000.00 руб. в т.ч. НДС
  • Описание
  • Характеристики

МИА-1М предназначен для измерения профиля поверхности отражающих объектов в микро- и нанодиапазоне, а также распределения показателя преломления прозрачных объектов (при использовании специальной кюветы).

Микропрофилометр МИА-1М позволяет исследовать отражающие объекты, состоящие из различных по своим электрическим свойствам материалов (диэлектрик, проводник и пр.) и рассчитывать параметры шероховатости (Ra, Rz, Rmax и пр.).

МИА-1М может использоваться в биологии для исследования микробиологических объектов без окрашивания.

В составе МИА-1М имеются две видеокамеры для двух различных полей зрения. Для расширения диапазона измерения высот профиля поверхности используется метод регистрации на нескольких длинах волн.

Области применения МИА-1М

в промышленности:

  • бесконтактное измерение микропрофиля отражающих поверхностей
  • измерение высотных и шаговых параметров шероховатости
  • измерение толщины тонких пленок
  • динамические измерения

в биологии и медицине:

  • возможность исследования живых неокрашенных клеток
  • морфометрия клеток
  • измерение сухого веса клеток с точностью 10-12 г
  • измерение показателя двулучепреломления
  • оценка состояния популяции клеток
  • динамическая фазовая микроскопия

Принцип действия МИА-1М основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра Линника. Для автоматизации измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС камеры и передаются в персональный компьютер, где производится их обработка в автоматическом режиме. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.

Технические характеристики МИА-1М:

Поле зрения
— канал 1, мкм
— канал 2, мкм

130 × 175
32 × 44
Диапазон измерения высот, мкм 0,001 ÷ 3 (15*)
Разрешающая способность
— в плоскости XY, мкм
— по оси Z, Å

0,3
0,8
Диапазон измерения показателя преломления 1 ÷ 2
Абсолютная погрешность измерения показателя преломления 1•10-3
Числовая апертура микрообъектива 0,65
Пределы перемещения для фокусировки, мм 3
Увеличение, крат 33,4
Пределы перемещения интерференционной головки по вертикали, мм ± 1,5
Цена деления шкалы барабана микрометрического винта интерференционной головки, мм 0,003
Источники излучения лазеры
Длина волны, мкм 0,473; 0,532; 0,635; 0,650
Алгоритм реконструкции метод фазовых шагов
Размерность изображения, пиксель 1392 х 1040
Время измерения и обработки, сек 30
Число обрабатываемых интерференционных картин 9
Электропитание от сети переменного тока
– напряжение питания, В
– частота, Гц

220 ± 22
50 ± 1
Потребляемая мощность, не более Вт 250
Габаритные размеры, мм 340 × 370 × 380
Масса, кг 30
* – при использовании осветительного блока с несколькими длинами волн
Все поставляемое оборудование ВНИИОФИ прошло первичную поверку