Масс-спектрометрический гелиевый течеискатель ТИ1-22М «Цеолит»
Течеискатель ТИ1-22М предназначен для испытаний систем и объектов с повышенными требованиями к герметичности. Прибор снабжён цеолитовым насосом и ориентирован на работу в режиме накопления гелия. Снят с производства. Замена — течеискатель МС-4.
Прибор обеспечивает все способы контроля герметичности масс-спектрометрическим методом с применением гелия в качестве пробного газа согласно ГОСТ 28517-90. Способен выявить течи потоком до 7⋅10-14 м3Па/сек в производственных условиях.
Области применения
Выявление и локализация течей и контроль герметичности различных газонаполненных объектов и изделий; электровакуумных, полупроводниковых и других герметизируемых малогабаритных приборов, их узлов и деталей; вакуумных систем и вакууммированных объектов в процессе их изготовления и эксплуатации.
Режимы работы
Высокая чувствительность течеискателя обеспечивается уникальной откачной вакуумной системой прибора, которая содержит форвакуумный насос (сухой или масляный), гибридный турбомолекулярный насос, адсорбционный цеолитовый насос и азотную ловушку. Течеискатель работает в режимах «Без накопления» (противоток и прямоток), «Щуп» и «Накопление».
24 часа
Время непрервыной
работы
| Диапазон выявляемых потоков гелия | от 7⋅10-14 до 1⋅10-5 м3Па/сек |
|---|---|
| Порог чувствительности течеискателя при высокочувствительных испытаниях (откачка цеолитовым насосом) с подачей гелия в течение 1 мин, не более | 7⋅10-14 м3Па/сек |
| Порог чувствительности течеискателя при предварительных испытаниях (откачка турбомолекулярным насосом), не более |
5⋅10-13 м3Па/сек |
| Порог чувствительности течеискателя при испытаниях способом щупа, не более | 1⋅10-9 м3Па/сек |
| Время отклика по входу, не более | 1 сек |
| Время отклика с щупом 10 м | 10±1 сек |
| Произволительность турбомолекулярного насоса по гелию | 50 л/сек |
| Время выхода на рабочий режим (предварительные испытания/высокочувствительные испытания) | 1/120 мин |
| Статическая и динамическая компенсация фонового сигнала | есть |
| Сенсорное и ручное управление с помощью энкодера | есть |
| Нелинейность накопления гелия в высоковакуумном объёме течеискателя, изолированном от турбомолекулярного насоса, не более | 3% |
| Температура эксплуатации | +10...+35 °С |
| Напряжение питания | 220±22 В |
| Потребляемая мощность, не более | 400 Вт |
| Габаритные размеры течеискателя с блоком захолаживания | 478×480×321 мм |
